產(chǎn)品介紹:
S1800系列, 正膠、紫外光刻膠。
光源推薦:g-Line,也可以用于寬譜。
單層厚度:0.4-2.7um。
型號(hào):
S1805 G2/S1813 G2/S1818 G2
應(yīng)用:
應(yīng)用于濕法腐蝕和干法刻蝕,也與底層膠LOR搭配,做lift-off 工藝。
特性:
● 通過(guò)最先進(jìn)的物理、化學(xué)和功能測(cè)試,保證批次與批次之間的一致性
● 絕對(duì)過(guò)濾精度0.2um,雜質(zhì)少
● 不含醋酸纖維素和二甲苯
● 高分辨
● 粘附性好
● 涂膠厚度均勻
● 多種標(biāo)準(zhǔn)粘度可用于單層加工
● 可適用于無(wú)金屬離子的(MIF)顯影液和含金屬離子的顯影液(MIC)
● 易去膠
上一個(gè)產(chǎn)品:RDP-75
下一個(gè)產(chǎn)品:SPR955-CM系列