產(chǎn)品介紹：
SPR 955-CM系列，正膠、紫外光刻膠。
光源推薦：i-Line。
單層厚度：0.7-3.5um。
型號(hào)：
SPR 955-0.7/SPR 955-0.9/SPR 955-1.1/SPR 955-1.4/SPR 955-1.8/SPR 955-2.1
應(yīng)用：
MEGAPOSIT SPR955-CM系列光刻膠是一種通用的、高分辨率的i-Line光刻膠，可用于0.35μm的前端和后端應(yīng)用。也與底層膠LOR/PMGI-SF搭配，做lift-off 工藝。
特性：
● 高分辨率（undercut）
● 在多晶硅實(shí)現(xiàn)高密度線條和空間，或者獨(dú)立線條。
● 在氮化鈦上實(shí)現(xiàn)高密度，高深寬比的線條和空間
● 在氧化硅上刻蝕密集孔
● 高深寬比的孔
● 靈敏度高
上一個(gè)產(chǎn)品：S1800 G2系列
下一個(gè)產(chǎn)品：沒(méi)有了
