定義:
掩模版(Photomask),又稱光罩、光掩模、光刻掩模版等;是微電子、集成光電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,常用規(guī)格為3-9英寸,常用材料為蘇打玻璃/石英玻璃材料,不同規(guī)格的尺寸與厚度有區(qū)別,需根據(jù)用戶要求定制;其中不透光區(qū)域的材料通常為鉻,所以俗稱鉻版;鉻層厚度約為0.1μm,用作芯片制造中較高精度的光掩模。
產(chǎn)品詳情
掩模版(Photomask),又稱光罩、光掩模、光刻掩模版等;是微電子、集成光電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,常用規(guī)格為3-9英寸,常用材料為蘇打玻璃/石英玻璃材料,不同規(guī)格的尺寸與厚度有區(qū)別,需根據(jù)用戶要求定制;其中不透光區(qū)域的材料通常為鉻,所以俗稱鉻版;鉻層厚度約為0.1μm,用作芯片制造中較高精度的光掩模。