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定義：

噴膠是指通過高壓氣體或超聲波將稀釋后的光刻膠打碎成無數(shù)霧狀小液滴，然后均勻涂覆在襯底表面使其成膜的過程。通過噴霧的方式，噴淋形成的固體薄膜可以粘附在溝槽結(jié)構(gòu)的各個表面，涂層的厚度和粗糙度易于控制。噴涂的方式重復(fù)性強、涂層均勻性好，并且能夠節(jié)省光刻膠溶液。

類型：

垂直結(jié)構(gòu)噴涂、傾斜結(jié)構(gòu)噴涂、HTI751噴涂 4μm、S1805薄膠噴涂、SPR220噴膠、AZ4620噴膠、5735噴膠、陶瓷片斜孔噴涂、多片陶瓷方片噴涂、球罩噴涂、柔性膜噴涂、鎢鋼表面噴膠、銀納米線噴涂、油墨噴涂等。