型號：
PGMEA
主要成分：
丙二醇甲醚醋酸酯 >99.5% CAS 108-65-6
原理與使用方法：
在光刻過程中，經(jīng)過曝光的SU-8區(qū)域會發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)，而未曝光的區(qū)域保持未交聯(lián)狀態(tài)。顯影液通過溶解這些未交聯(lián)的SU-8，從而顯現(xiàn)出圖形。并且具有高選擇性，僅溶解未交聯(lián)的SU-8，而不影響已經(jīng)交聯(lián)的區(qū)域，從而保證圖形的精確度和完整性。
使用方法：
將曝光后烘后的晶圓放入花籃中浸泡在SU-8顯影液中，輕輕搖動花籃進(jìn)行顯影。顯影時間見工藝條件確定。將底物在異丙醇（IPA）浴液中浸泡約30秒。
注：基材表面有白色殘留物表示未顯影。重復(fù)上述步驟，每次1-2分鐘，直到在IPA浴中沒有觀察到白色殘留，再重復(fù)一遍上述操作。在氮氣流下干燥基材的正面和背面。鏡檢，若存在未顯影區(qū)域，重新進(jìn)行上述顯影操作。
儲存:
使用無火花或防爆用具。
容器不用時保持封閉。
儲存在碳鋼、不銹鋼和聚四氟乙烯材質(zhì)的容器內(nèi)。
禁止吸煙、明火或火種。
所有設(shè)備接地。
不要切割、鉆孔、研碎、焊接或在空容器旁操作。
不可使用空氣加壓方法輸送產(chǎn)品。
上一個產(chǎn)品：S1800系列顯影液
下一個產(chǎn)品：正、負(fù)膠顯影液
