產(chǎn)品介紹：
SML系列，正膠，電子束膠。
光源推薦：E-beam。
單層厚度：50-5000nm。
型號：
SML50/SML100/SML300/SML600/SML1000/SML2000
應(yīng)用：
高性能SML電子束光刻膠是一種新型聚合物，專門設(shè)計來滿足EBL需求。它可以寫出高分辨率和高深寬比的圖形。即使在低加速度電壓，而不需要接近效應(yīng)校正。
特性：
● 安全且易于使用，適用于PMMA的電子束工藝流程
● 優(yōu)越的LER/LWR
● 側(cè)壁垂直度好
● 高對比度
● 粘附性好（不需要HMDS預(yù)處理）
上一個產(chǎn)品：RE500系列
下一個產(chǎn)品：沒有了
