產(chǎn)品介紹：
RE500系列電子束光刻膠，負膠。
光源推薦：E-beam。
單層厚度：105nm、590nm、1μm。
型號：
RE500.06/RE500.20
應用：
RE500是基于籠狀齊聚倍半硅氧烷HSQ 的負性電子束光刻膠，可用于納米級別干法刻蝕的掩膜。
特性：
● 高分辨率（＜20nm），低LWR
● 耐刻蝕性能高（基于硅氧烷樹脂）
● 水性顯影液
● 對標進口產(chǎn)品XR1541以及fox系列
產(chǎn)品詳情
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