產(chǎn)品詳情
Microchem PMMA／MMA 系列電子束光刻膠，正膠。
光源推薦：E-beam，X-ray&deep UV imaging。
單層厚度：50-5000nm。
495K PMMA 1-10/950K PMMA 1-10
Microchem PMMA/MMA 系列電子束光刻膠適用于電子束光刻，多層T-Gate剝離，晶圓減薄，PHEMT等。
● 線寬<100nm，極限線寬20nm
● 與基底粘附性好
● 多種分子量，可溶于多種不同溶劑
研材微納從技術(shù)出發(fā)，從工藝出發(fā)，從產(chǎn)品出發(fā)，從服務(wù)出發(fā)，讓用戶快速獲得產(chǎn)品，獲得強(qiáng)有力的工藝技術(shù)支持，獲得全面的工藝解決方案。研材微納不僅僅是最優(yōu)秀的產(chǎn)品提供者，更是對(duì)工藝技術(shù)有著執(zhí)著追求，對(duì)科技服務(wù)有著深刻理解，對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有著使命感的優(yōu)秀伙伴！
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