產品介紹：
HSQ系列電子束光刻膠，負膠。
光源推薦：E-beam，X-ray。
單層厚度：30-950nm。
型號：
XR-1541-002/XR-1541-004/XR-1541-006/fox15/fox16/fox24/fox25
應用：
HSQ基于籠狀齊聚倍半硅氧烷HSQ 的負性電子束光刻膠，可用于納米級別干法刻蝕的掩膜。
特性：
● 高分辨率（分辨率最高的光刻膠，極限可達幾個nm）
● 耐刻蝕
● 垂直型好
● 對比度高
● 低介電常數
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