產(chǎn)品介紹：
SU-8 3000系列，負(fù)性 Near UV(350-400nm)。
光源推薦：i-Line，也可用于E-beam，X-ray 。
單層厚度：5-100um。
SU-8 3000系列較SU-8 2000具有更好的基底粘附力，減少在工藝過程中產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力積累。
型號：
SU-83005/SU-83010/SU-83025/SU-83035/SU-83050
應(yīng)用：
光電器件，微流體，MEMS芯片制作以及作為芯片絕緣，保護(hù)層使用。
特性：
● 分子量低
● 溶解度好
● 透明度高
● 可形成光滑膜層
● 玻璃化溫度（Tg）低
● 粘度可降低
● 單次旋涂可得超厚膜層（650μm）
● 涂層厚度均勻
● 高寬比大（10:1）
● 耐化學(xué)性優(yōu)異
● 生物相容性好（微流控芯片）
上一個(gè)產(chǎn)品：Microchem SU-8 2000系列
下一個(gè)產(chǎn)品：環(huán)氧型負(fù)性光刻膠 HTIN 683
