產(chǎn)品介紹:
SU-8 2000系列,負(fù)性 Near UV(350-400nm)。
光源推薦:i-Line,也可用于E-beam,X-ray。
單層厚度:0.5-650um。
型號:
SU-82000.5/SU-82000.2/SU-82007/SU-82010/SU-82015/SU-82025/SU-82035/SU-82050/SU-2075/SU-82150
應(yīng)用:
SU-8常被用于微機械加工及其他微電子應(yīng)用領(lǐng)域,如制作電鍍模具,傳感器,微納結(jié)構(gòu)等。
特性:
● 分子量低
● 溶解度好
● 透明度高
● 可形成光滑膜層
● 玻璃化溫度(Tg)低
● 粘度可降低
● 單次旋涂可得超厚膜層(650μm)
● 涂層厚度均勻
● 高寬比大(10:1)
● 耐化學(xué)性優(yōu)異
● 生物相容性好(微流控芯片)
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