產(chǎn)品介紹：
NR系列光刻膠，負(fù)膠。
光源推薦：感光波長小于380nm, i-line。
單層厚度：0.5-25um。
型號：
NR9-1500PY/NR9-3000PY/NR9-6000PY/NR9-8000
NR77-1500PY/ NR77-3000PY/ NR77-6000PY
NR21-20000P
應(yīng)用：
適用于MEMS、封裝、生物芯片等工藝金屬圖形化，避免使用干法刻蝕工藝。
特性：
● 在顯影過程中形成底切（undercut）
● 根據(jù)曝光能量，可以調(diào)整光刻膠底切大小
● 通過表面拓?fù)淇刂?，獲得優(yōu)異的線寬
● 側(cè)壁垂直度好
● 解離度高（厚膠）
● 靈敏度高
● 粘附性好
● 耐高溫
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