產(chǎn)品介紹：
LOR & PMGI Lift-off 膠，底層膠。
非光敏。
單層厚度50nm-6μm。
型號：
LOR1A/ LOR2A/ LOR3A/ LOR5A/ LOR7A/ LOR10A/ LOR20B
LOR5B/ LOR10B/ LOR20B
PMGI-SF3/PMGI-SF6/PMGI-SF9/PMGI-SF11
應用：
LOR & PMGI Lift-off 膠的主要樹脂材料是聚二甲基戊二酰亞胺(PMGI)聚合物，作為犧牲層，非常適用于各種lift-off工藝。LOR & PMGI與傳統(tǒng)的正負膠搭配使用，不同的底膠厚度和底切率，滿足了廣泛的應用要求。例如金屬剝離，氣橋制造。
特性：
● 可用于<0.25um Lift-off工藝
● 對上層膠無影響
● 與Si,NiFe, GaAs, InP以及一些III–V ，II–VI 材料的粘附性好
● 顯影過程簡單，無需多余的有機試劑處理
● 與g/h/i-Line，DUV,193nm，E-beam光刻膠兼容
● 易去除
● 良好的耐熱穩(wěn)定性，Tg＞190℃
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