產(chǎn)品分類：
鈦、鋯、釩、鋁、鉿、過渡金屬、稀土元素構(gòu)成的合金靶，如Ti-Zr-V、Zr-V-Fe、Zr-Co-Re、Zr-Co-Ce等。
應(yīng)用說明：
非制冷紅外探測器利用紅外輻射的熱效應(yīng)，由紅外吸收材料將紅外輻射能轉(zhuǎn)換成熱能，引起敏感元件溫度上升。敏感元件的某個物理參數(shù)隨之發(fā)生變化，再通過所設(shè)計的某種轉(zhuǎn)換機(jī)制轉(zhuǎn)換為電信號或可見光信號，以實現(xiàn)對物體的探測。作為感知紅外輻射與輸出信號間的橋梁，熱敏感元件則是紅外探測器的核心部件。
非制冷紅外探測器的熱敏元件主流材料以氧化釩（VOx）和非晶硅（α-Si）為主。氧化釩由于其更加突出的綜合性能而成為非制冷紅外焦平面探測器的主流技術(shù)路線，截至目前在全球市場上占據(jù)了超過80%的份額。讀出電路將每個微測輻射熱計的微小電阻變化以電信號的方式輸出。氧化釩薄膜采用反應(yīng)濺射沉積方法制備，需要對標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝PVD設(shè)備進(jìn)行改造，引入O2作為反應(yīng)氣體，實現(xiàn)薄膜氧化，而釩靶則作為鍍膜材料被廣泛應(yīng)用。
吸氣劑，是在真空或惰性環(huán)境中吸收H2、CO2等活性氣體的一種重要的功能材料，廣泛應(yīng)用于需要維持真空環(huán)境的高真空系統(tǒng)、微電子真空器件等。由于傳統(tǒng)吸氣劑激活溫度高，體積大，并且有毒，已經(jīng)不能滿足在特定領(lǐng)域的使用要求。非蒸散型吸氣劑薄膜具有激活溫度低、吸氣速率快、吸氣容量大，高效制備，附著性強(qiáng)，體積小，兼容性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)是微電子MEMS器件的最佳選擇。
常用的非蒸散型吸氣劑薄膜主要由鈦、鋯、釩、鋁、鉿、過渡金屬、稀土元素構(gòu)成的合金，如ti-zr-v、zr-v-fe、zr-co-re、zr-co-ce等。
