產(chǎn)品名稱(chēng):
FZ硅片(進(jìn)口/國(guó)產(chǎn))
FZ硅片是指通過(guò)區(qū)熔法制作的硅片。區(qū)熔法是利用熱能將硅棒從籽晶一端區(qū)域熔化,調(diào)節(jié)溫度使熔化區(qū)緩慢移動(dòng)至硅棒另一端,通過(guò)整根棒料,生長(zhǎng)成一根單晶,晶向與籽晶相同。
應(yīng)用:
FZ硅片一般是高阻的,廣泛適用于太赫茲應(yīng)用,同時(shí)也廣泛應(yīng)用于光電子領(lǐng)域、大功率器件領(lǐng)域(RF器件等)、太陽(yáng)能電池領(lǐng)域、MEMS以及半導(dǎo)體領(lǐng)域(MOSFET、IGBT)等等。
參數(shù):
1、尺寸:2~8英寸
2、厚度:250μm~1mm
3、晶向:<100>、<111>
4、單拋、雙拋
5、N型、P型、本征
咨詢(xún)時(shí)請(qǐng)告知工藝應(yīng)用方向(不同的工藝應(yīng)用適用不同的型號(hào)FZ硅片)以及是否做高溫工藝,以便為您推薦適用的硅片。
優(yōu)勢(shì):
1、區(qū)熔法利用雜質(zhì)的分凝原理和蒸發(fā)特性,可以對(duì)硅棒進(jìn)行提純,并得到很均勻的雜質(zhì)分布,可制造出高純度的本征硅片。
2、FZ法不使用坩堝,污染小,低含氧量。