產(chǎn)品名稱:
Dummy片
Dummy片就是所謂的擋片/假片/墊片。假片一般由晶棒兩側(cè)品質(zhì)較差部分切割而來,由于用量巨大,在符合條件的情況下部分產(chǎn)品會回收再利用。
應用:
dummy片一般用來暖機、填充空缺、測試生產(chǎn)設備的工藝狀態(tài)或某一工藝的質(zhì)量狀況。它只能做有限的工藝測試,一般作為沒有潔凈度要求的單項工藝測試。
參數(shù)詳情:
1、尺寸:4~12英寸
2、厚度:400~750μm
3、晶向:<100>
4、單拋、雙拋
5、P型、N型
優(yōu)勢:
1、一般來說,假片沒有電阻率的指標要求,或者電阻率范圍非常寬。
2、外形尺寸基本符合SEMI標準。
3、基本不控制離子沾污和顆粒沾污。
4、采用蛋糕盒包裝。
上一個產(chǎn)品:沒有了
下一個產(chǎn)品:FZ硅片