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名稱：

空間粒子探測器——金屬網(wǎng)與光刻膠柱

用途：

用于探測和測量亞原子粒子（如電子、質(zhì)子、中子、光子等），探測和分析來自宇宙空間的高能粒子，進(jìn)行宇宙射線研究。

核心工藝：

1、支撐結(jié)構(gòu)構(gòu)建

難點(diǎn)：若金屬網(wǎng)與支撐結(jié)構(gòu)結(jié)合力差，金屬網(wǎng)易脫落。

2、光刻膠噴涂

難點(diǎn)：需要制作厚度100μm以上的光刻膠層，且保證均一性在±1%以內(nèi)。

3、光刻

難點(diǎn)：光刻膠厚度100μm以上，厚膠層曝光需要完全曝透，且需保證圖形形貌較為完整。