名稱：
波導(dǎo)傳感器
用途：
1、光通信：
在光纖通信系統(tǒng)中，光波導(dǎo)用于傳輸和引導(dǎo)光信號，實(shí)現(xiàn)高速數(shù)據(jù)傳輸和通信網(wǎng)絡(luò)的構(gòu)建。
2、光傳感：
光波導(dǎo)可用于傳感器中，通過測量光信號的變化實(shí)現(xiàn)對環(huán)境、物質(zhì)或參數(shù)的檢測和測量。
3、激光技術(shù)：
在激光器和光放大器中，光波導(dǎo)可以用于限制和引導(dǎo)激光光束，實(shí)現(xiàn)激光的穩(wěn)定輸出和調(diào)制。
4、生物醫(yī)學(xué)：
光波導(dǎo)在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用，如光學(xué)成像、光療等，為醫(yī)學(xué)診斷和治療提供了新的手段。
5、量子信息：
光波導(dǎo)在量子信息處理中發(fā)揮關(guān)鍵作用，可用于量子計(jì)算、量子通信等領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)高效的量子信息傳輸和處理。
核心工藝：
1、CVD
難點(diǎn)：通過CVD制備波導(dǎo)芯和包層材料，需要精確控制厚度和折射率（及材料組分要穩(wěn)定），波導(dǎo)材料側(cè)壁以及頂面要求光滑。
2、光刻
難點(diǎn)：波導(dǎo)器件分辨率要求和尺寸精度要求非常高，尺寸誤差大會(huì)帶來最終信號的嚴(yán)重誤差漂移。
3、摻雜
難點(diǎn)：需要進(jìn)行精準(zhǔn)摻雜，且摻雜也要做到均勻穩(wěn)定。
