名稱(chēng):
微流控芯片模板
用途:
復(fù)制微通道結(jié)構(gòu)。通過(guò)模板復(fù)制多個(gè)具有相同微通道結(jié)構(gòu)的微流控芯片,進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。批量生產(chǎn)用于商業(yè)化的微流控診斷設(shè)備。
核心工藝:
1、光刻技術(shù)
難點(diǎn):圖案精度高,需要控制光刻膠的均勻性和曝光時(shí)間,避免圖案變形。
2、軟刻?。⊿oft Lithography)
難點(diǎn):PDMS澆鑄過(guò)程中需要避免氣泡的產(chǎn)生,固化過(guò)程中需控制溫度和時(shí)間,以保證微通道結(jié)構(gòu)的完整性。