名稱:
原子氣室
用途:
1、原子鐘
作為標準時間基準,利用原子躍遷頻率的穩(wěn)定性實現(xiàn)高精度時間測量。
應用:全球定位系統(tǒng)(GPS)、電信網絡同步等。
2、量子傳感器
利用原子氣室中的原子對外界磁場、溫度、加速度等物理量的高度敏感性進行精確測量。
應用:地球物理勘探、醫(yī)學成像、基礎物理研究。
3、原子陀螺儀
通過測量原子在旋轉系統(tǒng)中的相位變化,實現(xiàn)高精度的角速度和方位角測量。
應用:導航系統(tǒng)、慣性測量單元(IMU)。
核心工藝:
1、水氧控制
難點:工藝過程從開始至結束,需要環(huán)境中水氧含量處于一個極低的水平,否則堿金屬將會氧化,陽極鍵合難以成功。
2、陽極鍵合
難點:需要在保證鍵合強度的同時保證氣室密封性,保證堿金屬不會揮發(fā)。
3、金屬蒸發(fā)
堿金屬材料采用蒸發(fā)的形式注入通孔中,需要保證金屬材料精準注入各個通孔中(鍵合面無沾污),而且每個通孔中堿金屬質量一致。