定義:
鍍膜是指在基材表面沉積一層或多層具有特定功能的材料,以改進其物理、化學或機械性能。鍍膜工藝的核心原理是通過各種物理或化學手段,將氣相、液相或固相材料轉移到基材表面,形成均勻、致密且附著力強的薄膜層。
類型:
磁控濺射、等離子體增強化學氣相沉積PECVD、低壓化學氣相沉積LPCVD、電子束蒸發(fā)、反應濺射系統、感應耦合等離子化學氣相沉積ICPCVD、類金剛石薄膜沉積系統DLC、離子束濺射沉積系統、熱氧化、熱蒸發(fā)、原子層沉積ALD。
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