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型號(hào)：

MIBK/IPA 1:3

主要成分：

異丙醇 20-80% CAS 67-63-0

4-甲基-2-戊酮 20-80% CAS 108-10-1

原理與使用方法：

PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）是一種高分辨率、高對(duì)比度的正性電子束光刻膠，可用于電子束、深紫外光(220-250nm)和x射線進(jìn)行曝光。圖形結(jié)構(gòu)可通過聚合物主鏈斷裂，分子量下降，小分子聚合物溶于顯影液后而獲得。

PMMA的顯影液一般是MIBK和IPA的混合溶液。MIBK是溶劑和活性劑，控制PMMA的溶解和溶脹速率，而IPA是異丙醇（非溶劑）。PMMA常使用不同配比的MIBK:IPA混合溶液進(jìn)行顯影（配比 1:1、1:2、1:3）。含有較多MIBK成分的混合溶液，顯影速率加快，提高顯影速率。然而含有較多IPA的混合溶液，顯影速率緩慢，但是適合高分辨線條的顯影。

儲(chǔ)存:

確保工作間有良好的通風(fēng)、排氣裝置。

放入密封的貯藏器，儲(chǔ)存在陰涼、干燥的地方。

使用防爆炸的設(shè)備或裝置和防火花的工具。

遠(yuǎn)離熱源和陽(yáng)光直射。

遠(yuǎn)離火源，禁止吸煙。

防靜電。