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     su8光刻膠是正膠還是負(fù)膠以及正負(fù)光刻膠的分類(lèi)

          

SU-8光刻膠負(fù)性光刻膠

SU-8膠是一種負(fù)性、環(huán)氧樹(shù)脂型、近紫外線(xiàn)光刻膠，克服了普通光刻膠采用 UV光刻導(dǎo)致的深寬比不足的問(wèn)題，十分適合于制備高深寬比微結(jié)構(gòu)。SU-8\xa0光刻膠在近紫外光(365nm-400nm)范圍內(nèi)光吸收度很低，且整個(gè)光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致，可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形;它還具有良好的力學(xué)性能、抗化學(xué)腐蝕性和熱穩(wěn)定性。SU-8在受到紫外輻射后發(fā)生交聯(lián)，是一種化學(xué)擴(kuò)大負(fù)性膠，可以形成臺(tái)階等結(jié)構(gòu)復(fù)雜的圖形;且 SU-8膠不導(dǎo)電，在電鍍時(shí)可以直接作為絕緣體使用。由于具有較多優(yōu)點(diǎn)，SU-8膠正被逐漸應(yīng)用于 MEMS、芯片封裝和微加工等領(lǐng)域。目前，直接采用 SU-8光刻膠來(lái)制備深寬比高的微結(jié)構(gòu)與微零件已經(jīng)成為微加工領(lǐng)域的一項(xiàng)新技術(shù)。

正負(fù)性光刻膠分類(lèi)

1.光刻膠的分類(lèi)

⑴ 負(fù)膠

1.特點(diǎn)

曝光部分會(huì)產(chǎn)生交聯(lián)(Cross Linking)，使其結(jié)構(gòu)加強(qiáng)而不溶于現(xiàn)像液;

而未曝光部分溶于現(xiàn)像液

經(jīng)曝光、現(xiàn)像時(shí)，會(huì)有膨潤(rùn)現(xiàn)像，導(dǎo)致圖形轉(zhuǎn)移不良，故負(fù)膠一般不用于特征尺寸小于3um的制作中。

2.

分類(lèi)(按感光性樹(shù)脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)分類(lèi))

常用的負(fù)膠主要有以下兩類(lèi)：

聚肉桂酸酯類(lèi)光刻膠

這類(lèi)光刻膠的特點(diǎn)，是在感光性樹(shù)脂分子的側(cè)鏈上帶有肉桂酸基感光性官能團(tuán)。如聚乙烯醇肉桂酸酯(KPR膠)、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯(OSR膠)等。

聚烴類(lèi)—雙疊氮類(lèi)光刻膠

這種光刻膠又叫環(huán)化橡膠系光刻膠。它由聚烴類(lèi)樹(shù)脂(主要是環(huán)化橡膠)、雙疊氮型交聯(lián)劑、增感劑和溶劑配制而成。

⑵ 正膠

1.特點(diǎn)

本身難溶于現(xiàn)像液，曝光后會(huì)離解成一種溶于現(xiàn)像液的結(jié)構(gòu),解像度高，耐性強(qiáng)等。

2.

分類(lèi)(按感光性樹(shù)脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)分類(lèi))

目前正膠常用的主要指鄰-疊氮醌類(lèi)光刻膠。

總結(jié)：以上是小編總結(jié)su8光刻膠是正膠還是負(fù)膠以及正負(fù)光刻膠的分類(lèi)，希望大家喜歡