產(chǎn)品名稱:
藍寶石片即氧化鋁晶片,常被應用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane。
應用:
廣泛應用于三五族和二六族化合物的外延生長,例如GaN、AlN;各類半導體薄膜的外延生長;LED產(chǎn)業(yè)的特種襯底;微電子IC應用(超高速集成電路SOS).
參數(shù):
1、直徑2~4英寸
如果需要使用藍寶石片進行PSS制造,請預先定義襯底表面質(zhì)量。
2、晶向:C<0001>,M<10-10>,A<11-20>,R<1-102>等
3、厚度:200μm~1mm
4、單拋、雙拋
優(yōu)勢:
1、晶格失配率低、物理化學穩(wěn)定性好。
2、表面粗糙度小,有優(yōu)良的平整度和潔凈度,所有晶向都具有優(yōu)良的表面質(zhì)量。
3、采用高純單晶Al2O3光學一級材料。
4、出庫數(shù)量靈活,可最大限度滿足您的研究需求。