型號(hào)：
SU-8 Developer
主要成分：
2-甲氧基-1-丙醇乙酸酯 <0.5%
CAS：70657-70-4 乙酸-1-甲氧基-2-丙基酯 >99.5%
CAS：108-65-6 （PGMEA）
原理與使用方法：
SU-8系列的光刻膠，采用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）+ 異丙醇（IPA）交替浸泡的方式進(jìn)行顯影。一般準(zhǔn)備三個(gè)玻璃缸和一個(gè)底部鏤空的顯影花籃，三個(gè)玻璃缸依次倒入PGMEA，IPA和IPA，顯影花籃方便顯影過(guò)程中硅片的轉(zhuǎn)移。未曝光的光刻膠區(qū)域未發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)，易被PGMEA溶脹，之后浸泡IPA可將溶脹的膠剝離硅片表面，重復(fù)至無(wú)絮狀物飄出后在干凈的IPA中漂洗，溶解掉殘留的PGMEA。也可選擇美圖SD-100-T桌面自動(dòng)顯影機(jī)進(jìn)行顯影。顯影結(jié)束后用氮?dú)獯蹈伞?/p>
儲(chǔ)存:
確保工作間有良好的通風(fēng)、排氣裝置。
放入密封的貯藏器，儲(chǔ)存在陰涼、干燥的地方，保持低溫。
遠(yuǎn)離熱源和陽(yáng)光直射。
遠(yuǎn)離火源，禁止吸煙。
防靜電。
切勿與堿金屬（苛性堿溶劑）、氧化物質(zhì)、酸性物質(zhì)儲(chǔ)存在一起。
